荏原真空泵EBARA维修1真空泵的极限压力Ebara 荏原真空泵维修的极限压力单位为PA，即泵在入口装有标准的测试盖，在规定的条件下工作，在正常运行下趋于稳定，不引入气体。

2真空泵抽气率：泵的抽速单位为m3/s或L/s，是指泵装有标准试验盖，在规定条件下工作时，从试验盖流出的气体流量与在试验盖指定位置测得的平衡压力之比。称为泵的泵送速度。

3.真空泵抽气量：Ebara荏原真空泵维修的抽气量单位为pam3/s或PAL/s，指泵入口处的气体流量。

4真空泵启动压力：真空泵启动压力单位为PA，指泵启动时无损坏，具有抽气作用的压力。

5泵前级压力：真空泵原压力单位为PA，指排气压力低于一个大气压的真空泵出口压力。

6真空泵前级压力大：真空泵口前级大压力单位为PA，指前级压力超过泵损坏。

7真空泵大工作压力：真空泵大工作压力单位为PA，为*大抽气量对应的入口压力。在这种压力下，泵可以连续工作而不变质或损坏。

8压缩比：压缩比是指给定气体的泵出口压力与入口压力之比。

9He系数：根据分子渗出量计算出的抽运通道面积上的实际抽运速度与理论抽运速度的比值。

10泵速系数：泵的实际泵速与根据泵入口分子流计算的理论泵速之比。

11泵的回流流量单位为g/cm2。S、 泵在规定条件下工作时，通过泵进口的单位面积泵流量的质量流量。

12水蒸气允许单位为kg/h，是指在正常环境条件下，气体压载泵连续运行时所能抽出的水蒸气质量流量。