自1999年A100L发布的日期以来，在半导体工业中，干泵一体化的概念已经成为一个标准。今天，在世界范围内，A100L被安装在300mm数量级的半导体器件上，为关键的行业提供公认的利益。

特点：

• 直接集成到硅片加工设备： 
  消除foreline ＆显著减少设施和连接费用

• 使用时100m³/h 的抽水速度： 
  可以取代多达500m³/h 的精细水泵以增加吞吐量

• 安静和清洁： 
  专为无尘操作设计

• 能源效率： 
  降低晶圆厂能源消耗

• 可靠：
  adixen实地证明的复合罗茨技术
  世界范围内最大的安装基地 

应用：

• 负载锁

• 转换腔

• 物理气相沉积

• 扫描电镜

• 预清洗腔

• 退火腔